MEMS是以微电子技术为基础，采用硅微加工技术、光刻铸造成型(LIGA)和精密机械加工等多种微加工技术制作的，关键尺寸在亚微米至亚毫米范围内的微传感器、微执行器和微系统的总称。其中MEMS动态测试技术，因其能够测试MEMS三维运动，分析MEMS动态特性、材料特性以及机械力学参数等关键数据，已成为MEMS测试技术的重要组成部分。而研究如何在MEMS运动过程中记录瞬间运动状态，并恢复MEMS表面的离面运动历程，则是MEMS动态测试技术实现离面运动测量的关键。

MEMS模型

MEMS离面运动测试系统首先通过频闪同步信号编辑和控制软件命令任意波形发生器产生激励波形、频闪照明信号和控制信号，激励信号通过同轴电缆经高压放大器驱动MEMS运动，频闪照明信号经频闪驱动电路实现LED的频闪照明，控制信号则负责命令和协调CCD摄像机、图像采集卡和纳米定位仪的工作; CCD摄像机捕捉到的物体运动瞬间图像由图像采集卡采集并存储在计算机指定的存储区内,供后续的数据处理使用。在获得完整的物体运动图像之后,系统转入数据处理阶段,主要由图像数据后续处理软件完成,最终将得到诸如物体表面某点运动轨迹曲线或某个局部区域的运动状态图等实验结果。

MEMS离面运动测试系统功能框图

AigtekATA-4000系列高压功率放大器在MEMS测试领域有着广泛的应用，其中常被应用在相显微干涉技术，微型传感器技术等。ATA-4000系列高压放大器最大输出功率452Wp ，最大输出电压310Vp-p（±155Vp） ，最大输出电流4Arms ，带宽高达DC~3MHz。

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