实验名称：基于MEMS工艺柔性基底磁通门传感器性能测试与分析

本文主要搭建了一套磁通门性能测试系统，主要测试设备有：信号发生器、功率放大器、磁强计、电流表、磁通门传感器、示波器等。

磁通门传感器测试系统：

激励信号由任意信号发生器33220A和ATA-4011B高压功率放大器串联产生。任意信号发生器可产生正弦波、方波、三角波、锯齿波，也可以通过程序控制产生特殊形状的波形。功率放大器ATA-4011带宽可达到1MHz，最大提供2.82App的电流值，满足测量需求。

为了测量激励电流有效值，在激励电路上串联一个电流表，当磁通门传感器作为磁场传感器时，被测磁场由直流电源激励一个螺线管产生，为了标定被测磁场的大小，在螺线管前串联一个电流表测试螺线管电流。

基于MEMS工艺的柔性基底磁通门磁场传感器

当磁通门作为电流传感器时，将柔性基底磁通门传感器粘贴在一个圆柱形的支撑骨架上，使柔性基底传感器铁芯两端紧挨以使磁路闭合，并将被测电流穿过支撑骨架中心。被测电流用直流电源提供，并串联一个电流表用于标定被测电流值，在磁通门的感应线圈两端接示波器对输出信号进行分析。

基于MEMS工艺的柔性基底磁通门电流传感器

ATA-4011高压功率放大器产品介绍：

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